반도체
반도체
- E84 대응 EQ Load Port System
:
Manual Port만 대응하는 공정 장비를 OHT System(Overhead Hoist Transfer System)을 이용하여 Clean Room 내의 천정에 설치된 Rail을 따라 Vehicle이 이동하며 FOUP(FOSB, POD, Cassette, Magazine etc)를 제조공정 간 반송 할 수 있도록 자동화하는 설비
- 반도체 Stocker : 공정간 물류 이송 시스템에서 FOUP/FOSB를 보관하는 설비
